光刻机euv 英文全名是什么
的有关信息介绍如下：
EUV（极端远紫外光源，Extreme Ultraviolet 略称）光刻，是使用通称极端远紫外光源的极短波（13.5 nm）光线的光刻技术，能够加工至既有 ArF 准分子激光光刻技术不易达到的 20 nm 以下精密尺寸。请采纳，谢谢
光刻机euv 英文全名是什么
Simone
发布于 2025-04-15 21:36:55
522 阅读
